激光清洁装置及方法
实质审查的生效
摘要
一种激光清洁装置及方法，包括由激光模块提供或发射一激光光束。接着，由波长切换模块依据激光光束输出具有第一波长的第一激光光束，以将第一激光光束通过光罩模块的至少一通孔与镜组切换模块的第一镜组而投影至物件上以清洁物件。然后，由波长切换模块将具有第一波长的第一激光光束切换成具有第二波长的第二激光光束，以将第二激光光束通过光罩模块的通孔与镜组切换模块的第二镜组而投影至物件上以再次清洁物件。光罩模块的通孔能界定第一激光光束或第二激光光束投影至物件上的图案，且第一镜组与第二镜组分别匹配第一激光光束与第二激光光束。
基本信息
专利标题 ：
激光清洁装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114378051A
申请号 ：
CN202011268674.1
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-11-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈峻明周府隆林于中曾介亭李闵凯
申请人 ：
财团法人工业技术研究院
申请人地址 ：
中国台湾新竹县
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
李芳华
优先权 ：
CN202011268674.1
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B15/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 7/00
申请日 : 20201113
申请日 : 20201113
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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