具有集成的霍尔测量特征的半导体探针测试卡
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摘要
公开了具有集成的霍尔测量特征的半导体探针测试卡。一种用于测试半导体器件的探针测试卡包括：印刷电路板；一对导电探针，其朝向彼此延伸并且远离印刷电路板突出，具有部署在该对导电探针的各端部之间的间隙；以及线圈，其被附接到印刷电路板并且被电连接到印刷电路板，并且被直接部署在间隙的上方。探针测试卡被配置为当施加通过线圈的电流时在该对导电探针的各端部之间的间隙中生成磁通量。
基本信息
专利标题 ：
具有集成的霍尔测量特征的半导体探针测试卡
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108872686A
申请号 ：
CN201810448564.X
公开（公告）日 ：
2018-11-23
申请日 ：
2018-05-11
授权号 ：
CN108872686B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
J.博斯特延齐克D.卡默兰德C.奥斯特迈尔G.普雷希特尔G.拉青斯基
申请人 ：
英飞凌科技奥地利有限公司
申请人地址 ：
奥地利菲拉赫西门子大街2号
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
胡莉莉
优先权 ：
CN201810448564.X
主分类号 ：
G01R19/08
IPC分类号 ：
G01R19/08 G01R15/20 G01R1/067 G01R1/073 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R19/00
用于测量电流或电压或者用于指示其存在或符号的装置
G01R19/08
电流密度的测量
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2019-04-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 19/08
申请日 : 20180511
申请日 : 20180511
2018-11-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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