具有窗口的抛光垫及其制造方法
授权
摘要
本公开的实施例提供包括至少一终点检测(EPD)窗口设置穿过抛光垫材料的抛光垫及其形成方法。在一实施例中，形成抛光垫的方法包括通过分配第一前驱物组成物和窗口前驱物组成物，以形成抛光垫的第一层，第一层包含第一抛光垫元件和窗口特征中的每一者的至少部分，及使置于第一层内的所分配的第一前驱物组成物与所分配的窗口前驱物组成物部分硬化。
基本信息
专利标题 ：
具有窗口的抛光垫及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110997232A
申请号 ：
CN201880050338.4
公开（公告）日 ：
2020-04-10
申请日 ：
2018-08-03
授权号 ：
CN110997232B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
傅博诣S·嘎纳帕西亚潘D·莱德菲尔德R·巴贾杰A·乔卡里汉D·J·本韦格努M·D·科尔内霍M·山村N·B·帕蒂班德拉A·沃兰
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN201880050338.4
主分类号 ：
B24B37/013
IPC分类号 ：
B24B37/013 B24B37/20 B24B37/24
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/005
研磨机床或装置的控制装置
B24B37/013
检测研磨完成的设备或装置
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2020-09-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/013
申请日 : 20180803
申请日 : 20180803
2020-04-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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