微机械微镜组件和相应的运行方法
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摘要
本发明涉及一种微机械微镜组件和相应的运行方法。微机械微镜组件配备有:框架(1),该框架具有凹槽(AS);在框架(1)上在凹槽(AS)的区域中悬挂在第一平面(x,y)中的微镜装置(10);悬挂在框架(1)上的、伸入到凹槽(AS)的区域中的第一枢转翼装置(2a),该第一枢转翼装置通过第一弹簧装置(4a)耦合在微镜装置(10)上;悬挂在框架(1)上的、伸入到凹槽(AS)的区域中的第二枢转翼装置(3a),该第二枢转翼装置通过第二弹簧装置(4b)耦合在微镜装置(10)上;用于使第一枢转翼装置(3a)沿着垂直于第一平面(x,y)布置的第一轴(z)偏移的第一驱动装置(81a);和用于使第二枢转翼装置(3b)沿着第一轴(z)反相偏移的第二驱动装置(82a)。微镜装置(10)能够通过第一枢转翼装置(2a)和第二枢转翼装置(3a)的反相偏移围绕第二轴(x)从第一平面(x,y)中弹性地旋转出来。第一枢转翼装置(2a)和第二枢转翼装置(3a)构型为
基本信息
专利标题 :
微机械微镜组件和相应的运行方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111226155A
申请号 :
CN201880067776.1
公开(公告)日 :
2020-06-02
申请日 :
2018-10-18
授权号 :
CN111226155B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
J·穆霍H·格鲁茨埃克T·沙里P·考普曼
申请人 :
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 :
德国斯图加特
代理机构 :
永新专利商标代理有限公司
代理人 :
侯鸣慧
优先权 :
CN201880067776.1
主分类号 :
G02B26/08
IPC分类号 :
G02B26/08 B81B3/00 G02B26/10 G01S7/481
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-04-01 :
授权
2020-11-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/08
申请日 : 20181018
申请日 : 20181018
2020-06-02 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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