沟道通孔特征参数的获得方法及装置
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摘要
一种本发明的沟道通孔特征参数获得方法和获得装置，所述获得方法，在获得沟道通孔对应的若干半径采样值后，对所述获得的若干半径采样值进行傅里叶变换，获得若干模值，计算获得沟道通孔的椭圆度，所述椭圆度基于一阶模值和二阶模值表征，计算获得沟道通孔的粗糙度，所述粗糙度基于三阶模值到N/2阶模值表征或者基于四阶模值到N/2阶模值表征。本发明中椭圆度基于一阶模值和二阶模值表征为一种新的椭圆度的衡量方式。并且，粗糙度基于三阶模值到N/2阶模值表征或者基于四阶模值到N/2阶模值表征能去除椭圆度的影响从而可以提高粗糙度的精度。
基本信息
专利标题 ：
沟道通孔特征参数的获得方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110544244A
申请号 ：
CN201910806356.7
公开（公告）日 ：
2019-12-06
申请日 ：
2019-08-29
授权号 ：
CN110544244B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
朱航刘藩东胡蝶夏志良
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
董琳
优先权 ：
CN201910806356.7
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06T7/62 H01L27/11578
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2019-12-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06T 7/00
申请日 : 20190829
申请日 : 20190829
2019-12-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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