FBAR滤波器与放大器或开关单片集成的器件及方法
授权
摘要
本发明公开了FBAR滤波器与放大器或开关单片集成的器件及方法。本发明的单片集成方法是将射频前端模块中的功率放大器、低噪声放大器、开关以及滤波器通过MEMS工艺加工集成在一起，与目前将各种离散封装的功放、开关、滤波器组合在更大的基板上再次进行封装相比，本发明提供了一种将射频前端有源和无源器件裸芯片加工集成在同一个基板上，然后进行封装。采用该单片集成方法可以进一步缩小射频前端模块的体积，避免前端模块分立单体器件在PCB版上集成时电气连接的损耗，降低了射频前端模块的成本。
基本信息
专利标题 ：
FBAR滤波器与放大器或开关单片集成的器件及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110540169A
申请号 ：
CN201910810840.7
公开（公告）日 ：
2019-12-06
申请日 ：
2019-08-29
授权号 ：
CN110540169B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
李国强衣新燕张铁林刘鑫尧赵利帅刘红斌梁敬晗
申请人 ：
华南理工大学
申请人地址 ：
广东省广州市天河区五山路381号
代理机构 ：
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 ：
何淑珍
优先权 ：
CN201910810840.7
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2019-12-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81B 7/02
申请日 : 20190829
申请日 : 20190829
2019-12-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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