纳米压印结构、其控制方法、纳米压印装置及构图方法
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摘要
本发明公开了一种纳米压印结构、其控制方法、纳米压印装置及构图方法，通过在磁性连杆上设置轴承结构，并且将软膜板设置为环状软膜板，将环状软膜板套设在磁性连杆具有轴承结构的位置，通过控制轴承结构围绕磁性连杆转动，带动环状软膜板的压印图形在第二方向上运动，通过控制轴承结构在磁性连杆上滑动，带动环状软膜板的压印图形在第一方向上运动，从而设置一张环状软膜板，调节压印图形所在区域，即可完成对基板的构图，不仅解决了多张软膜板拼接造成的构图均一性的问题，也极大的节约了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
纳米压印结构、其控制方法、纳米压印装置及构图方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110989293A
申请号 ：
CN201911308299.6
公开（公告）日 ：
2020-04-10
申请日 ：
2019-12-18
授权号 ：
CN110989293B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
周雪原张笑李多辉路彦辉郭康谷新谭伟刘震赵晋
申请人 ：
京东方科技集团股份有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区酒仙桥路10号
代理机构 ：
北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
张佳
优先权 ：
CN201911308299.6
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-05-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/00
申请日 : 20191218
申请日 : 20191218
2020-04-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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