一种纳米压印设备

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摘要

本实用新型公开了一种纳米压印设备，其包括壳体、工作台、基盘、承压板、紫外曝光装置、加热装置、真空装置、压印装置以及空气净化装置，所述壳体内部为容纳槽，所述工作台位于容纳槽内部，所述基盘位于工作台上方，所述基盘上表面吸附有基片，所述加热装置位于工作台和基盘之间，所述壳体上设置门体和显示触摸屏；该纳米压印设备结构合理，设计新颖，压印装置平行于基盘，红外红外测距装置实时测试承压板和基盘的距离，压力分布，压印膜层的一致性和均匀性好，可操作性高，操作简单，同时设置紫外曝光装置和加热装置，压印胶体可紫外固化也可加热固化，应用范围更加广泛，基盘分区域抽气，可实现对不同尺寸的基片的均匀吸附，适用性强。

基本信息

专利标题：

一种纳米压印设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922458069.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-31

授权号：

CN210803966U

授权日：

2020-06-19

发明人：

冀然

申请人：

青岛天仁微纳科技有限责任公司

申请人地址：

山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922458069.X

主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

G03F7/00