一种新型滴胶纳米压印设备
授权
摘要
本实用新型提出一种新型滴胶纳米压印设备，包括：外壳；底座，位于外壳的底端；加热板，安装于底座上；托板，位于加热板上，托板上开设有多个真空槽，部分真空槽内开设有真空孔，真空孔与外接的真空泵A通过气管连接；压板，位于托板上方，压板中间开设有透视窗，在托板的下表面上开设有环形真空槽，环形真空槽内开设有气孔，气孔通过气管与外接的真空泵B连接；升降装置，升降装置的底端与底座连接，顶端与压板连接，升降装置上设置有微调整单元；滴胶装置，包括旋转臂，旋转臂上设置有滴胶针头，与滴胶针头通过胶管连接有胶桶，与胶桶连接有推拉杆；紫外灯，位于压板上方的外壳内侧。本实用新型能够防止气泡的产生，提高成品率，降低了成本。
基本信息
专利标题 ：
一种新型滴胶纳米压印设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922466682.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN210803968U
授权日 ：
2020-06-19
发明人 ：
冀然
申请人 ：
青岛天仁微纳科技有限责任公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922466682.6
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2020-06-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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