一种纳米压印设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种纳米压印设备，包括不锈钢主体，不锈钢主体的内腔右侧壁铰接装配有紫外曝光组件，不锈钢主体的内腔下侧壁左侧固定装配有真空装置，不锈钢主体的内腔左侧壁固定装配有软模夹具，不锈钢主体的内腔下侧壁右侧固定安装有升降台，不锈钢主体的下侧壁均匀固定安装有万向轮和脚杯，本实用新型装置结构合理，使用方便，便于移动，腔体底面对称地安装有万向轮组件和脚杯组件，便于整个装置的移动和调平，紫外曝光装置和软模夹具位于腔体内壁，节省了设备的整体空间，升降台和软膜夹具平行，确保模具的均匀性和平整度，压印时，有利于减少气泡，在基片与软模分离时，整个基台慢慢下降，受力均匀，更易于分开。

基本信息

专利标题：

一种纳米压印设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020154309.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-06

授权号：

CN211180527U

授权日：

2020-08-04

发明人：

冀然

申请人：

青岛天仁微纳科技有限责任公司

申请人地址：

山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020154309.7

主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

G03F7/00