一种高精度纳米压印光刻设备
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摘要

本实用新型公开了一种高精度纳米压印光刻设备,包括底座,所述第二蜗杆啮合连接有斜齿轮,所述斜齿轮顶端安装有螺纹筒,且螺纹筒顶端连接有轴承座,所述螺纹筒内部螺旋连接有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆底端安装有固定块,且固定块底端安装有万向轮。本实用新型中,第一电机带动第一蜗杆转动,第一蜗杆转动时通过链轮和链条带动第二蜗杆进行同时转动,第一蜗杆带动斜齿轮转动,斜齿轮带动螺纹筒进行转动,螺纹筒螺旋带动第二螺纹杆进行转动,使第二螺纹杆进行旋转下降,从而带动万向轮进行下降,将万向轮推出底座,便于进行移动,不需要进行移动时,第一电机反转,将万向轮收纳在底座内部,使万向轮不用长期承受机器重量,便于长期使用。

基本信息
专利标题 :
一种高精度纳米压印光刻设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122942052.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-26
授权号 :
CN216248761U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
蔡胜关成刚黄豆
申请人 :
江西微瑞光学有限公司
申请人地址 :
江西省上饶市经济技术开发区兴业大道19号
代理机构 :
深圳中创智财知识产权代理有限公司
代理人 :
文言
优先权 :
CN202122942052.9
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  G03F7/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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