压印光刻装置及其方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明涉及一种压印光刻装置，包含形成目标图案的反相凹凸图案的模板，该模板由弹性材质构成；模板贴附部，将模板从一端部到另一端部逐渐地贴附于作业对象上而在作业对象上形成目标图案。因此，可以有效地在基板上形成纳米图案。
基本信息
专利标题 ：
压印光刻装置及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1920662A
申请号 ：
CN200510135972.2
公开（公告）日 ：
2007-02-28
申请日 ：
2005-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴正扜金桢吉郑在贤李锡原李文九赵成训
申请人 ：
三星电子株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭鸿禧
优先权 ：
CN200510135972.2
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2010-07-21 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101003338710
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利申请号 : 2005101359722
公开日 : 20070228
号牌文件序号 : 101003338710
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利申请号 : 2005101359722
公开日 : 20070228
2007-04-25 ：
实质审查的生效
2007-02-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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