利用压印光刻和直接写入技术制造器件的方法
专利权的终止
摘要
本发明提供一种制造方法以及制造集成电路的方法。除其它步骤外，该制造方法可以包括利用压印光刻在衬底上形成一个或多个第一类型的器件，而且利用直接写入技术在该衬底上形成一个或多个第二类型的器件。
基本信息
专利标题 ：
利用压印光刻和直接写入技术制造器件的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101479661A
申请号 ：
CN200680009268.5
公开（公告）日 ：
2009-07-08
申请日 ：
2006-03-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
克里斯托弗·P·布朗塞勒西·奇逖皮迪弗莱德瑞克·R·佩佛尔
申请人 ：
艾格瑞系统有限公司
申请人地址 ：
美国宾夕法尼亚
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
付建军
优先权 ：
CN200680009268.5
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2018-04-17 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/00
申请日 : 20060323
授权公告日 : 20120606
终止日期 : 20170323
申请日 : 20060323
授权公告日 : 20120606
终止日期 : 20170323
2016-10-12 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101739865983
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2006800092685
登记生效日 : 20160914
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 艾格瑞系统有限责任公司
变更后权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国宾夕法尼亚州
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
号牌文件序号 : 101739865983
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2006800092685
登记生效日 : 20160914
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 艾格瑞系统有限责任公司
变更后权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国宾夕法尼亚州
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
2016-10-12 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101739865982
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2006800092685
变更事项 : 专利权人
变更前 : 艾格瑞系统有限责任公司
变更后 : 艾格瑞系统有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国特拉华州
变更后 : 美国宾夕法尼亚州
号牌文件序号 : 101739865982
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2006800092685
变更事项 : 专利权人
变更前 : 艾格瑞系统有限责任公司
变更后 : 艾格瑞系统有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国特拉华州
变更后 : 美国宾夕法尼亚州
2015-07-01 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101717090049
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2006800092685
变更事项 : 专利权人
变更前 : 艾格瑞系统有限公司
变更后 : 艾格瑞系统有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国宾夕法尼亚
变更后 : 美国特拉华州
号牌文件序号 : 101717090049
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2006800092685
变更事项 : 专利权人
变更前 : 艾格瑞系统有限公司
变更后 : 艾格瑞系统有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国宾夕法尼亚
变更后 : 美国特拉华州
2012-06-06 ：
授权
2009-09-02 ：
实质审查的生效
2009-07-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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