一种自动滴胶纳米压印设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种自动滴胶纳米压印设备，包括腔体，腔体的内腔通过升降装置固定连接有加热盘，加热盘的上表面固定装配有托盘，托盘内开设有第一真空槽，托盘通过第一真空槽真空吸附有基板，腔体的上侧壁通过连接架固定装配有承压板，承压板内开设有第二真空槽，安装架的上表面开设有滑槽，滑槽内滑动连接有自动滴胶装置。在腔体内设置有升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板，通过升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板完成纳米压印操作，在进行纳米压印的过程中，通过自动滴胶装置向基板的表面滴加光刻胶，从而不再需要使用到人工向基板的表面进行滴胶，大大提高压印的效率，降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种自动滴胶纳米压印设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020348494.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-19
授权号 ：
CN211528907U
授权日 ：
2020-09-18
发明人 ：
冀然
申请人 ：
青岛天仁微纳科技有限责任公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020348494.3
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2020-09-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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