本实用新型提供一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置。所述Coater机台作业腔体真空环境形成装置包括：腔体和抽风泵；抽风管，所述抽风管的一端连通于所述抽风泵的抽风口，所述抽风管的另一端贯穿所述腔体并延伸至所述腔体的内部；密封结构，所述密封结构设置于所述腔体的顶部的一侧，所述密封结构包括Z型板，所述Z型板的底部通过支撑块转动连接于所述腔体的顶部的一侧。本实用新型提供的Coater机台作业腔体真空环境形成装置，在其作业腔体增加密封结构，当Z型板完成封闭时，腔体由抽风泵进行抽风，使腔体的内部达到一定的低压，从而保证腔体的压力在一定的真空下进行作业，颗粒大大的减少，而且异常毛病也大大的减少，一定上提高了产品产量。