一种氮化镓MISHEMT功率器件的结构
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种氮化镓MISHEMT功率器件的结构,包括从下至上依次结合在一起的硅基层、氮化镓电路层、氮化镓势垒层、氮化硅介质层,还有高阻区、钛铝合金欧姆沟道、镍/金导电区、第一氮化硅穿透涂层、第一钛/金导电涂层、第二氮化硅穿透涂层、第二钛/金导电涂层、第三氮化硅穿透涂层、源极、栅极、漏极;所述硅基层由低阻硅材料制成;所述氮化镓电路层是外延层;所述的氮化镓MISHEMT功率器件是N型二维电子气沟道,硅基金属氧化物栅极接触高电子迁移率晶体管。该结构的氮化镓MISHEMT功率器件抗辐照能力高,在关态时的泄漏电流低,静态功耗低,辐照情况的失效概率低,承受的击穿电压高。

基本信息
专利标题 :
一种氮化镓MISHEMT功率器件的结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920553600.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-23
授权号 :
CN211017079U
授权日 :
2020-07-14
发明人 :
窦祥峰
申请人 :
窦祥峰
申请人地址 :
北京市昌平区回龙观镇万润家园1号楼2单元901号
代理机构 :
北京市京师律师事务所
代理人 :
高晓丽
优先权 :
CN201920553600.9
主分类号 :
H01L29/06
IPC分类号 :
H01L29/06  H01L29/417  H01L29/45  H01L23/29  H01L23/31  H01L29/778  
法律状态
2022-04-05 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 29/06
申请日 : 20190423
授权公告日 : 20200714
终止日期 : 20210423
2021-06-15 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 29/06
登记生效日 : 20210603
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 窦祥峰
变更后权利人 : 北京龙创润芯科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100096 北京市昌平区回龙观镇万润家园1号楼2单元901号
变更后权利人 : 100000 北京市海淀区西二旗大街39号二层202-09
2020-07-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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