一种大承载量硅片花篮

授权

摘要

本实用新型提出了一种大承载量硅片花篮，包括两块相对平行设置的第一挡板、第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板形成矩形架，所述第一挡板之间活动连接有至少4组承载滑杆，所述承载滑杆上设有小型花篮，所述小型花篮上方设有限位档杆；所述第一挡板上设有两根挂杆，本花篮能够同时承载400片的硅片同时进行清洗，大大提高的清洗效率，并且结构简洁，特别设置了档杆能够防止倾倒时硅片滑出，并且设置了可调节的承载滑杆，上下料更便捷。

基本信息

专利标题：

一种大承载量硅片花篮

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920558414.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-23

授权号：

CN209641632U

授权日：

2019-11-15

发明人：

冯显火

申请人：

昆山泰明易自动化设备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市巴城镇金凤凰路999号

代理机构：

苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

朱丹

优先权：

CN201920558414.4

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673