一种无焊缝等离子真空腔体
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开一种无焊缝等离子真空腔体,其包括真空箱体,真空箱体前侧设有前门板,真空箱体后侧设有后门板,真空箱体是由前门板、后门板、多块铝板之间焊接而成的四周密闭的无焊缝箱体,并在真空箱体内部形成真空内腔,真空内腔垂直方向设置有多块电极,后门板与前门板设置在真空箱体的一组对面,前门板的一侧设有加工视窗,加工视窗与前门板密封设置,后门板的一侧设有真空产生口,真空产生口用于抽取真空内腔的空气以形成真空状态。本实用新型通过多设置了一个门,能够方便的对设备进行维修保养工作,并且采用无焊缝技术将真空腔体一体成型制成,表面不存在焊缝,方便清洁,降低生产成本,密封性好,产品合格率高。

基本信息
专利标题 :
一种无焊缝等离子真空腔体
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920786788.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-29
授权号 :
CN210168276U
授权日 :
2020-03-20
发明人 :
郑志伟廖文晗陈磊赵义党
申请人 :
珠海倍力高科科技有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏西五路1号办公楼1楼A-1区
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
卢泽明
优先权 :
CN201920786788.1
主分类号 :
H05H1/24
IPC分类号 :
H05H1/24  
法律状态
2020-12-29 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H05H 1/24
变更事项 : 专利权人
变更前 : 珠海恒格电子科技有限公司
变更后 : 珠海恒格微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 519000 广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-63474(集中办公区)
变更后 : 519000 广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-63474(集中办公区)
2020-08-07 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H05H 1/24
登记生效日 : 20200720
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 珠海倍力高科科技有限公司
变更后权利人 : 珠海恒格电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 519000 广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏西五路1号办公楼1楼A-1区
变更后权利人 : 519000 广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-63474(集中办公区)
2020-03-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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