一种具有高稳定性的镀膜设备旋转机构

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供了一种具有高稳定性的镀膜设备旋转机构，属于镀膜设备领域；解决了现有技术中旋转机构运行不稳定，从而影响产品的品质稳定性的问题，其技术方案要点是，包括机台，机台中部设有主轴，主轴上安装有主齿轮，机台上设有三组靶台，靶台呈120度角圆周分布，靶台底部固定连接有副轴，副轴端部安装有副齿轮，机台上还设有过渡齿轮组，过渡齿轮组一端与主齿轮呈90度啮合，另一端与副齿轮啮合；本实用新型结构稳定，方便拆装与调节，有着较高的实用性。

基本信息

专利标题：

一种具有高稳定性的镀膜设备旋转机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920800008.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-30

授权号：

CN210287483U

授权日：

2020-04-10

发明人：

唐杰张磊

申请人：

深圳南科超膜材料技术有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-76号银星智界3号楼(深国电大厦)601

代理机构：

深圳市宾亚知识产权代理有限公司

代理人：

黄磊

优先权：

CN201920800008.4

主分类号：

C23C14/22

IPC分类号：

C23C14/22

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

法律状态

2021-12-24 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/22
登记生效日 : 20211210
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳南科超膜材料技术有限公司
变更后权利人 : 深圳戴尔蒙德科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-76号银星智界3号楼(深国电大厦)601
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市福田区福保街道福保社区桃花路6号腾飞工业大厦A栋3层301-303

2020-04-10 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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