一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备，包括用于盛装和回收循环热交换媒介的循环液容器、用于通过靶材背管的循环水管和恒温控制模块，循环水管连通于循环液容器，循环水管和循环液容器之间设置有循环泵，循环液容器内设置有温度探测器和加热器，温度探测器和加热器分别电连接恒温控制模块。本实用新型的恒温处理设备，实现多功能的温度控制，对靶材背管能起到很好的预热、保温和冷却的作用。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920885921.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-13
授权号 ：
CN210506494U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
敬正柏
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN201920885921.9
主分类号 ：
C23C4/134
IPC分类号 ：
C23C4/134
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4/00
熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆（堆焊入B23K，例如B23K5/18，B23K9/04
C23C4/04
以镀覆材料为特征的
C23C4/134
等离子喷涂
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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