本实用新型涉及靶材背管喷涂设备技术领域，尤其是指一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其包括循环液容器、热交换反应装置、泵液装置和温度控制电路，循环液容器内盛装循环热交换媒介和用于加热循环热交换媒介的发热管，温度控制电路设置有三相电源输入端，三相电源输入端并联有泵液驱动支路、发热驱动支路和控温支路，泵液驱动支路电连接泵液装置，发热驱动支路电连接发热管，控温支路设置有温控器和温度传感器，温度传感器用于实时监测循环液容器内的循环热交换媒介的温度，以使温控器导通或切断发热驱动支路。本实用新型能使生产过程中靶材背管的温度趋近恒温，增强喷涂层和靶材背管的沾合力，提升良品率。