一种石英晶片镀膜治具
授权
摘要
本实用新型公开了一种石英晶片镀膜治具,涉及石英晶片加工技术领域,包括支撑板,所述支撑板的数目为两组,两组所述支撑板的内侧通过转轴转动连接有载板,所述载板的一侧固定有手柄,所述载板的顶部设置有多组放置腔,所述载板的上方设置有盖板,所述载板的底部设置有多组第一镀膜孔,且第一镀膜孔与放置腔相连通。本实用新型通过将石英晶片放置在放置腔内,盖上盖板,使固定柱穿过卡孔,再通过固定环锁紧,压块对放置腔内的石英晶片压紧固定,对石英晶片限位,防止石英晶片移动,保证镀膜的正常进行,且通过旋转手柄,以带动载板翻转,便于顶面镀膜完成后,再通过第一镀膜孔对石英晶片的地面进行镀膜,方便双面镀膜,提高了镀膜的生产效率。
基本信息
专利标题 :
一种石英晶片镀膜治具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921072036.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-10
授权号 :
CN211256074U
授权日 :
2020-08-14
发明人 :
陈利群
申请人 :
深圳市利群电子科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区南湾街道泰雅园1号楼4单元407
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921072036.5
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-08-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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