一种用于刻蚀设备的进气装置

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摘要

本实用新型公开了一种用于刻蚀设备的进气装置，包括进气座，所述进气座内设有主气道以及引流气道，主气道的一端设有第一进气端；主气道的另一端设有出气端；引流气道的一端设有第二进气端，所述引流气道的另一端为盲端；所述第一进气端用于与外部供气管路连通；出气端与第二进气端连通；所述引流气道在进气座由进气座的中心呈非直线状态延伸至进气座的边缘；所述引流气道设有多个气孔；多个气孔在引流气道的延伸方向上间隔分布。本实用新型的进气装置，其引流气道可引导气流呈非直线状态流动，提高气体流动时的阻力，使引流气道内各处的气孔导出气体量差异较小。

基本信息

专利标题：

一种用于刻蚀设备的进气装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921078259.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-10

授权号：

CN210403654U

授权日：

2020-04-24

发明人：

张宾李东滨

申请人：

广州奥松电子有限公司;张宾

申请人地址：

广东省广州市黄埔区云骏路17号自编3栋

代理机构：

广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

汤喜友

优先权：

CN201921078259.2

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32 H01L21/67