一种新型磁控溅射换靶辅助工具
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型磁控溅射换靶辅助工具，包括：滑块，其结构包括：安装板，安装板两端安装有侧板，安装板下表面设置有套孔，侧板设置有安装通孔，安装通孔中设置有键槽；轮轴，其结构包括设置为一体的安装轴、限位部件以及滚轮轴，其中限位部件位于安装轴与滚轮轴之间；卡箍，其安装于滚轮轴的环形沟槽中；滚轮，其安装于滚轮轴上且位于卡箍与限位部件之间，滚轮的内圈与滚轮轴固定连接，且外圈为可转动设置；安装轴上设置有与键槽相适配的轮轴键槽，安装轴通过平键固定在安装通孔中；导轨，滑块放置于导轨上。相比现有的行车吊或龙门吊方式，此设计具有结构简单、易于安装、使用方便的特点，在简化换靶工作的同时，显著提高换靶效率。
基本信息
专利标题 ：
一种新型磁控溅射换靶辅助工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921160423.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN210215527U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
陈坤陈培专李仁龙魏昌华高翔
申请人 ：
绵阳金能移动能源有限公司
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区凤凰中路8号
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN201921160423.4
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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