一种用于磁控溅射换靶的辅助装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于磁控溅射换靶的辅助装置。所述用于磁控溅射换靶的辅助装置，包括：龙门架组件，所述龙门架组件包括横梁，所述横梁底部的两侧均通过螺栓固定安装有支撑组件，所述支撑组件包括底部支撑柱。本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置，通过底部支撑柱、内部支撑柱和中间支撑柱的可伸缩设计，可在运输的过程中将内部支撑柱和中间支撑柱统一收纳至底部支撑柱的内部，且横梁与其液为可拆卸式设计，可方便对其进行运输，并且，底部支撑柱、内部支撑柱和中间支撑柱均为中空设计，通过采用中空设计，可方便工作人员进行搬运，在运输过程无需多人配合，从而可简化装置整体的操作步骤，方便进行使用。
基本信息
专利标题 ：
一种用于磁控溅射换靶的辅助装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123052585.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-07
授权号 ：
CN216687131U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
罗晴
申请人 ：
厦门大学
申请人地址 ：
福建省厦门市思明区思明南路422号材料学院
代理机构 ：
长沙都创云天知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
夏轩
优先权 ：
CN202123052585.6
主分类号 ：
B66C5/02
IPC分类号 ：
B66C5/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B66
卷扬；提升；牵引
B66C
起重机；用于起重机、绞盘、绞车或滑车的载荷吊挂元件或装置
B66C5/00
具有支腿的底部支承结构
B66C5/02
固定或可移动的桥架或龙门架，即倒L或倒U形的长条结构
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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