本实用新型公开了一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板，所述连接板的顶部固定连接有水箱，所述连接板的顶部固定连接有位于水箱右侧的水泵，所述水泵的输入端与水箱的左侧连通，所述连接板的顶部固定连接有与水泵输出端连通的分流箱，所述分流箱的顶部通过销轴活动连接有喷头本体，所述喷头本体与分流箱的顶部连通。该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，通过水泵将清洁剂抽出并注入分流箱的内部，清洁剂通过喷头本体向外喷洒进行清理，解决了现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀的问题，该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备自动化喷洒等优点。