一种用于太阳能光伏刻蚀设备中的输送滚轮
授权
摘要
本实用新型为了解决现有技术中太阳能光伏硅片易发生过刻,且背面和四周刻蚀质量差的技术问题,提供了一种用于太阳能光伏刻蚀设备中的输送滚轮,其包括圆柱形的轴杆,轴杆的直身上设置有左旋螺纹或者右旋螺纹式的凸出承托部,凸出承托部的每两片相邻的托板在轴杆的直身上形成的螺纹槽的深度为3.5‑4.5MM,螺纹槽的宽度为3‑6MM,螺纹槽的角度为10‑20度。本实用新型通过在轴杆表面增加螺纹式的凸出承托部,并优化了螺纹结构,如此便能降低液位波动,使滚轮轴的传输速度提升至3.5米/分钟,提高了太阳能电池片的产能;药液反应产生的气泡在螺纹槽内有足够的空间进行平缓消失,降低了化学药液的消耗。
基本信息
专利标题 :
一种用于太阳能光伏刻蚀设备中的输送滚轮
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921284670.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-09
授权号 :
CN210535642U
授权日 :
2020-05-15
发明人 :
宁利军
申请人 :
苏州煊能自动化设备有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴江区黎里镇莘塔龙江路798号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921284670.5
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-05-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN210535642U.PDF
PDF下载