一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的滚轮支架
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摘要
本实用新型属于太阳能电池片制造技术领域，具体公开了一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的滚轮支架，包括滚轮支架本体，滚轮支架本体的后侧安装有滚轮支架垫板，滚轮支架垫板的一侧固接若干支架垫板支撑条；滚轮支架垫板的一侧开设有若干方形槽，方形槽内通过螺钉安装有滚轮支架调节固定块，滚轮支架调节固定块的顶部活动设有紧固螺栓，紧固螺栓的头端与滚轮支架本体顶部开设的预留孔连接；支架垫板支撑条朝向滚轮支架本体的一侧底部开设有凹槽，凹槽内壁上设有若干破泡块，凹槽的顶部连通设有若干引槽；本实用新型当太阳能电池硅片经过刻蚀槽建浴区时，滚轮支架能够更好的保护太阳能电池硅片不受建浴区内气泡的影响，完成刻蚀作业，提高刻蚀效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的滚轮支架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122744390.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-10
授权号 ：
CN216213334U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
孙刘竹李冰
申请人 ：
苏州库睿斯自动化设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区亨通路399号
代理机构 ：
长沙智德知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
段芳萼
优先权 ：
CN202122744390.1
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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