一种半导体检测探针平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体检测探针平台，包括侧板、探针台、底座和载物托盘，所述底座的顶部表面固定有第一导轨，所述第一导轨背离底座的一端与探针台连接固定，所述探针台的上表面固定有探针固定块，所述侧板的顶部表面固定有托架，所述托架的上表面固定有气缸，所述气缸通过连接板与第二导轨连接固定，所述第二导轨上固定有显微镜，所述探针台的一端焊接有螺纹柱，所述螺纹柱的底端焊接有从动轮，所述底座的上表面固定有手摇轮，所述手摇轮的底端焊接有主动轮，所述底座的底端表面固定有变速轮，所述底座的上表面固定有载物托盘。本实用新型具备升降精度高、显微镜可升降，且可使平台进行同步升降的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体检测探针平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921397952.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-27
授权号 ：
CN210534002U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
肖遵保许建亚
申请人 ：
上海探芯电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区南桥镇宏伟路24号5幢7076室
代理机构 ：
上海宣宜专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邢黎华
优先权 ：
CN201921397952.6
主分类号 ：
G01N21/84
IPC分类号 ：
G01N21/84 G01N21/01 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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