一种半导体器件测试探针平台

授权

摘要

本实用新型公开了一种半导体器件测试探针平台，包括底座、固定在所述底座上的测试放置台、所述底座上还放置有通过导线连接的体式显微镜、控制箱和操作屏；其特征在于：所述测试放置台包括顶部设有检测圆台；所述底座上还设有探针定位装置，该探针定位装置与所述测试放置台滑动连接；所述探针定位装置包括与所述底座固定的支承座，所述支承座顶端活动连接有滑动槽，在该滑动槽内设置有滑动导轨；与所述滑动导轨滑动连接有横向定位装置和纵向定位装置。

基本信息

专利标题：

一种半导体器件测试探针平台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020318049.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-12

授权号：

CN211826181U

授权日：

2020-10-30

发明人：

郭俊春

申请人：

重庆盛科纳科技有限公司

申请人地址：

重庆市九龙坡区西效路24巷17号10-1号

代理机构：

重庆千石专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

黄莉

优先权：

CN202020318049.2

主分类号：

G01R1/067

IPC分类号：

G01R1/067