一种耐高压屏蔽栅功率MOSFET芯片
授权
摘要

本实用新型涉及一种耐高压屏蔽栅功率MOSFET芯片,包括N+衬底、N‑型基区、P型基区,N+集电区,源极电极、二氧化硅绝缘层、漏极电极,屏蔽栅设置在两个P型基区之间深入N‑型基区内部,上述屏蔽栅覆盖沟槽薄氧,上述沟槽薄氧内部设置有栅极多晶硅、连栅极多晶硅;在两个P型基区的外侧各有一个贯穿二氧化硅绝缘层抵达P型基区表面的源极电极凸起,上述源极电极凸起下方垂直设置贯穿P型基区抵达N‑型基区内部的连源极多晶硅,上述连源极多晶硅覆盖有沟槽厚氧;上述沟槽厚氧、沟槽薄氧底部设置P+型基区。有益效果是可以提高器件击穿电压、降低器件导通电阻。

基本信息
专利标题 :
一种耐高压屏蔽栅功率MOSFET芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921456831.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-04
授权号 :
CN210467853U
授权日 :
2020-05-05
发明人 :
陆怀谷
申请人 :
深圳市谷峰电子有限公司;香港谷峰半导体有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区49区河东商业城华创达文化科技产业园9栋(F座)2-6楼501
代理机构 :
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张宁展
优先权 :
CN201921456831.4
主分类号 :
H01L29/78
IPC分类号 :
H01L29/78  H01L29/40  H01L29/06  
法律状态
2020-05-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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