一种用于连续式生产的晶体硅太阳能电池扩散炉及生产线
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于连续式生产的晶体硅太阳能电池扩散炉,包括第一水平传送装置,沿所述第一水平传送装置的传送方向依次设有第一上料腔、第一预热腔、扩散工艺腔、第一冷却腔及第一下料腔。一种用于连续式生产的晶体硅太阳能电池生产线,包括制绒机、前述的扩散炉、去PSG清洗机、退火炉、平板式PECVD、激光消融机、印刷烧结设备及测试分选机,所述制绒机、扩散炉、去PSG清洗机、退火炉、平板式PECVD、激光消融机、印刷烧结设备及测试分选机依次布置。本实用新型前道工序与后道工序之间可实现无缝对接或只采用简单的机械手装卸片即可,可实现连续式生产,具备效率更高,对于硅片的损伤更少,工序间物料传送结构简单等多方面的优点。
基本信息
专利标题 :
一种用于连续式生产的晶体硅太阳能电池扩散炉及生产线
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921662382.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-30
授权号 :
CN211079409U
授权日 :
2020-07-24
发明人 :
龚杰洪范迎新张威苏卫中
申请人 :
中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请人地址 :
湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
代理机构 :
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 :
周长清
优先权 :
CN201921662382.9
主分类号 :
C30B31/06
IPC分类号 :
C30B31/06 C30B29/06 H01L31/18 H01L21/677
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺;其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
法律状态
2020-07-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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