一种用于板式Pecvd载板的搭载机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于板式Pecvd载板的搭载机构，包括边框本体，在边框本体任一组对边的内侧对称的设置了挂钩，所述的挂钩采用嵌入的方式可拆卸的插入边框本体的内侧边框中，在所述边框本体内侧边框中设有与所述挂钩相配合的T型凹槽。本实用新型所设置的挂钩采用可分离的方式连接在石墨载板的边框本体上，当氮化硅膜挂钩点印较严重时，可单独拆卸挂钩清洗，不必清洗整个石墨载板，减少清洗难度。
基本信息
专利标题 ：
一种用于板式Pecvd载板的搭载机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921716508.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-14
授权号 ：
CN211367718U
授权日 ：
2020-08-28
发明人 ：
杨林海童锐张忠卫
申请人 ：
南通苏民新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市通州湾江海联动开发示范区扶海路99号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN201921716508.6
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-08-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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