一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件
授权
摘要
本实用新型提供了一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件，包括镀膜载板、两根石墨导轨、两根碳‑碳复合材料导轨、碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母；镀膜载板的设置有内六角沉头式通孔的边部、石墨导轨、碳‑碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母连接在一起；碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母在酸洗过程中不会被氢氟酸腐蚀；碳‑碳复合材料螺杆的机加工难度、机加工工作量以及切削量均比较小；内六角沉头式通孔与碳‑碳复合材料六角螺母均为六角结构，可以卡着固定碳‑碳复合材料六角螺母，可以定位与卡位，在上下方向上对齐摆正，提高了安装精度。
基本信息
专利标题 ：
一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020256480.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-04
授权号 ：
CN211471546U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
谢安冉王建星陈岩
申请人 ：
山东伟基炭科技有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市高新区综合保税区港兴一路2777号
代理机构 ：
济南诚智商标专利事务所有限公司
代理人 ：
杨先凯
优先权 ：
CN202020256480.9
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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