一种用于半导体晶圆生产的抛光设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种用于半导体晶圆生产的抛光设备,具体涉及抛光设备技术领域,包括装置本体,所述装置本体的顶面固定安装有活动杆,所述活动杆的底端一体形成有打磨头,所述打磨头的顶端固定安装有打磨片,所述装置本体的底端固定安装有支撑装置,所述支撑装置的顶端固定安装有工作台,所述支撑装置的表面粘接有连接板,所述连接板的表面一体形成有支撑杆。本实用新型通过设置自动添液装置,使得操作人员在抛光半导体晶体时,自动添液装置定时滴落抛光液,滴落到半导体晶体的表面,使得操作人员无需分心来添加抛光液,使得操作人员一心一意对半导体晶体进行打磨,增加了该装置生产半导体晶体的加工质量,增加了该装置的实用性。

基本信息
专利标题 :
一种用于半导体晶圆生产的抛光设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921762877.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-21
授权号 :
CN211220177U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
王国新
申请人 :
丹阳市好猫半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省镇江市丹阳市开发区星巷村、高楼村
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921762877.9
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02  B24B47/12  B24B57/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2021-12-21 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B24B 29/02
变更事项 : 专利权人
变更前 : 丹阳市好猫半导体科技有限公司
变更后 : 江苏好猫半导体有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 212300 江苏省镇江市丹阳市开发区星巷村、高楼村
变更后 : 212300 江苏省镇江市丹阳市开发区新丰南路(日产园南区)4号厂房
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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