一种用于半导体晶圆片生产的打磨抛光设备
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种晶圆片生产的打磨抛光设备,尤其涉及一种用于半导体晶圆片生产的打磨抛光设备。要解决的技术问题:提供一种具有夹紧效果、稳定性较高的用于半导体晶圆片生产的打磨抛光设备。技术方案如下:一种用于半导体晶圆片生产的打磨抛光设备,包括有:底板和支撑杆,底板顶部两侧均对称设有支撑杆;外壳,支撑杆上部内侧之间设有外壳;工作台,外壳顶部设有工作台;踏板机构,底板顶部设踏板机构。本发明通过电机输出轴带动滑杆、安装块和打磨块旋转,人们踩下脚踏板,从而带动第一连杆和第一滑块向下移动,进而带动电机、滑杆、安装块和打磨块向下移动,使得打磨块对半导体晶圆片进行打磨,提高打磨效率。

基本信息
专利标题 :
一种用于半导体晶圆片生产的打磨抛光设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114346796A
申请号 :
CN202111485139.6
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郭建春
申请人 :
郭建春
申请人地址 :
广东省广州市白云区江高镇工业路5号4栋806室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111485139.6
主分类号 :
B24B7/22
IPC分类号 :
B24B7/22  B24B41/06  B24B47/22  B24B41/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置,包括抛光平面玻璃表面;及其附件
B24B7/20
以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的
B24B7/22
用于磨削无机材料,如石头,陶瓷,瓷器
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 7/22
申请日 : 20211207
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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