一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置，包括滚轮，硅片进口位置处设有水膜装置，所述水膜装置包括设置在所述滚轮上方的喷水管，以及与所述喷水管连通的进水管，以及所述喷水管上设置的多个喷水孔，所述喷水孔正对所述滚轮上方通过的硅片喷射。本装置在现有刻蚀设备的基础上进行改造，改造成本低，可以有效提高刻蚀过程的A级品率，为企业减少生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种光伏太阳能电池湿法刻蚀简易水膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921893024.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-05
授权号 ：
CN210379094U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
曾德栋鲍亚平陈议文崔红云韩锦明
申请人 ：
海南英利新能源有限公司
申请人地址 ：
海南省海口市海口国家高新技术产业开发区狮子岭工业园区光伏南路9号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921893024.9
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/042
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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