本实用新型公开了一种晶圆夹持件，包括板体，所述板体上设有多个安装孔，板体的上端部设置有齿沟结构，齿沟结构由多个连续的齿构成，每个齿均具有齿背、齿前、以及齿背与齿前相交处形成的齿尖，所述齿背倾斜设置，所述齿前包括第一段、垂直连接在第一段下端的第二段、以及连接在第二段下端的第三段，所述第一段和第三段均朝向与前一齿的齿背相背离的方向倾斜设置。本实用新型能够稳定地夹持晶圆，避免移动晶圆过程中晶圆产生晃动或偏移，大大地降低了晶圆的破损率，避免破损晶圆污染其他未破损的晶圆或污染生产线设备，降低了企业生产成本。