本实用新型涉及一种化学气相沉积炉用焦油过滤装置，包括筒体和安装在筒体内的过滤机构，筒体底部具有排油口，筒体下端部开设有进气口，上端部开设有出气口，过滤机构位于进气口和出气口之间，过滤机构包括设置在筒体中的固定板以及若干个并排安装在固定板上的过滤体，过滤体包括筒状的过滤骨架以及套装在过滤骨架上的过滤布袋，固定板上均匀开设有若干与过滤体相配合的安装孔，过滤体上端通过安装孔与固定板可拆卸连接。本实用新型通过并联多个过滤体，增大了尾气与过滤机构之间的接触面积，能够有效地过滤沉积炉尾气内的焦油，提高了尾气中焦油的过滤效率，降低了维护成本和维护劳动强度。