一种化学气相沉积炉
授权
摘要
本实用新型属于热处理设备技术领域，公开一种化学气相沉积炉。包括炉壳，炉壳内腔中部位置上下贯穿设置有刚玉管，刚玉管的上下两端分别延伸出炉壳，刚玉管的上端为出气口，刚玉管的下端内部固定套设有气体分散器；炉壳内围绕刚玉管外周一圈串联设有若干个均匀分布的加热棒，串联后的加热棒引出一条电源线至炉壳外；炉壳内加热棒外周设有保温罩，保温罩底面固定在炉壳底壁上，保温罩四周侧壁与加热棒之间间隔有距离，保温罩四周侧壁与炉壳之间设置有隔热填充物。本实用新型炉内气体流动均匀，减少沉积区的热量散失，沉积效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021942100.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213538095U
授权日 ：
2021-06-25
发明人 ：
姚栋嘉张东生李江涛吴恒刘喜宗杨超张相国
申请人 ：
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市巩义市站街镇胡坡村
代理机构 ：
郑州豫开专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张智伟
优先权 ：
CN202021942100.3
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-06-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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