一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置，包括筒状的本体，所述本体上部开设有进气口，下部开设有出油口和出气口；所述本体中设有内层通道、位于通道外层的中层环形腔以及位于中层环形腔外层的外层环形腔；进气口与外层环形腔的上部相连通，所述外层环形腔的底部与中层环形腔的底部均与出油口相通，所述中层环形腔的上部与内层通道的上部相连通，所述内层通道的下端与所述出气口相通；所述本体中还设置有冷却装置。本实用新型不仅通过冷却装置实现了焦油的冷凝，而且在有限的空间中巧妙地构建了上下连通的两层环形腔和一组通道，延长了冷却路径，显著提升冷却效果。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921979659.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-16
授权号 ：
CN211133476U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
许健东历建政
申请人 ：
美尔森银河新材料（烟台）有限公司
申请人地址 ：
山东省烟台市芝罘区只楚工业园华美街5号
代理机构 ：
烟台双联专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
申国栋
优先权 ：
CN201921979659.0
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 C23C16/44 C23C16/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
