一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器，包括冷凝器本体，冷凝器本体上依次连接有外层冷凝器和内层冷凝器，冷凝器本体的上端一侧设有进气口，冷凝器本体的下端一侧设有排气口，进气口和排气口分别位于冷凝器本体的相对两侧，冷凝器本体的底部设有排污口。该冷凝吸附器能够将气相沉积炉内的焦油冷凝吸附，防止焦油或炭墨堵塞真空泵管道。
基本信息
专利标题 ：
一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920741538.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-22
授权号 ：
CN210159414U
授权日 ：
2020-03-20
发明人 ：
关刚刚李少华赵亚国
申请人 ：
西安西炉特种电炉有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市雁塔区西三环和科技路十字西北角绿地国际花都8幢1单元10层11007号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
王蕊转
优先权 ：
CN201920741538.6
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 B01D49/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2020-03-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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