一种铁电增强的范德华异质结偏振探测器
授权
摘要
本专利公开了一种铁电增强的范德华异质结偏振探测器。器件结构自下而上依次为衬底、两种二维半导体构成的范德华异质结、金属源漏电极、铁电薄膜和半透明金属栅电极。首先在衬底上制备一种二维半导体，在此基础上转移另外一种具有各向异性的二维半导体，这两种半导体通过范德华力相结合，再运用电子束光刻技术与剥离技术制备金属电极，接着旋涂铁电聚合物薄膜，制备半透明金属电极，最终形成铁电局域场增强的偏振探测器。区别于异质结光电探测器，该结构可实现高二向色性比、低功耗、快速响应的偏振探测器。
基本信息
专利标题 ：
一种铁电增强的范德华异质结偏振探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921985764.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-18
授权号 ：
CN211208468U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
王建禄陈艳王旭东胡伟达沈宏林铁孟祥建褚君浩
申请人 ：
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 ：
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 ：
上海沪慧律师事务所
代理人 ：
郭英
优先权 ：
CN201921985764.5
主分类号 ：
H01L31/113
IPC分类号 ：
H01L31/113 H01L31/0224 H01L31/0336 H01L31/18 G01J4/00
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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