一种新型纳米压印样品加热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型纳米压印样品加热装置。包括基座壳体、密封腔体、加热单元和真空单元；基座壳体，基座壳体的外部顶面开设有用于固定密封腔体的卡槽；密封腔体，由密封外壳和布置在密封外壳内表面的隔热层形成，使加热单元与外界空气隔离；加热单元，置于密封腔体内，包括加热板，纳米压印样品置于加热板上；真空单元，包括比例阀、电磁阀、真空管和真空泵，密封腔体的密封环境经真空管连接到真空泵，真空泵置于基座壳体内，真空管上安装有比例阀和电磁阀。本实用新型解决了基片在加热时暴露在空气中被灰尘颗粒污染导致产品良率低加热板烫伤人员和加热温度不稳定以及胶中气泡带来的压印结构缺陷的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种新型纳米压印样品加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922023425.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-21
授权号 ：
CN210894987U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
张琬皎龙眈张颖
申请人 ：
杭州欧光芯科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市大江东产业集聚区义蓬街道青六中路888号义蓬科创园1101室
代理机构 ：
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 ：
林超
优先权 ：
CN201922023425.5
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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