一种带有辊轴压印滚轮的用于纳米压印的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种带有辊轴压印滚轮的用于纳米压印的装置。纳米压印装置包括温控电路、轴承、滚轮体和机械臂；机械臂包括轴体和支撑臂，轴承套装在机械臂的轴体上，轴承的两端穿出纳米压印装置并均连接机械臂的支撑臂；机械臂的轴体外套装有滚轮体，滚轮体上布置有温控电路；滚轮体为中空圆柱状，滚轮体的内部为填充区，滚轮体的外表面为压印面，填充区和外表面之间为隔离层，填充区的内表面紧贴轴承的外表面。本实用新型使用充有胶体的辊轴，通过加入胶体和温控电路实现对滚轮体刚性度的可调，使装置具有普适性，压印材料和结构的压印选择更为广泛，同时可防止异物颗粒导致模板或基底损伤，提高纳米图形转移的精度和压印质量。
基本信息
专利标题 ：
一种带有辊轴压印滚轮的用于纳米压印的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122754404.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
CN216210470U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
张婉皎邓小菊
申请人 ：
杭州欧光芯科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市大江东产业集聚区义蓬街道青六中路888号义蓬科创园1101室
代理机构 ：
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 ：
林超
优先权 ：
CN202122754404.8
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
