多功能清洗设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种多功能清洗设备,其用于太阳能电池硅片的清洗,包括:预清洗段,所述预清洗段包括具有酸洗功能及碱洗功能且可在两种功能之间切换的预清洗槽;设置于所述预清洗段后端的工艺段,所述工艺段包括独立实现或配合实现所述太阳能电池硅片抛光工艺、制绒工艺或返工工艺的第一工艺槽与第二工艺槽;设置于所述工艺段后端的后清洗段,所述后清洗段包括具有酸洗功能及碱洗功能且可在两种功能之间切换的后清洗槽;基于本实用新型所提供多功能清洗设备的具体结构,其可以在不同的工艺之间切换以适应太阳能电池硅片不同的清洗需求,而且一台清洗设备兼具多种清洗工艺的设计方式大大降低了企业的设备购置成本。
基本信息
专利标题 :
多功能清洗设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922056625.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-25
授权号 :
CN210897210U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
叶晓亚曹芳邹帅王栩生刑国强
申请人 :
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区鹿山路199号
代理机构 :
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张炜平
优先权 :
CN201922056625.0
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-02-23 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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