一种超声波涂铟炉
授权
摘要
本实用新型提供了一种超声波涂铟炉，包括炉体、盖合炉体的炉盖、固定靶材的空心管，所述炉盖与所述炉体之间可翻转地连接，所述炉体内沿其长度方向设置有放置所述空心管的下通槽，所述炉盖内设置有与所述下通槽的位置相对应的上通槽，所述炉盖和所述炉体闭合时，所述上通槽和所述下通槽的内壁均紧贴在所述空心管外壁上，所述上通槽和下通槽内壁为绝缘层，所述上通槽和所述下通槽的所述绝缘层上均铺设有加热丝；本实用新型旨在改善现有的超声波涂铟炉效率低、不安全且使用及维修均不便的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种超声波涂铟炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922108966.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-29
授权号 ：
CN210974856U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
吴友根
申请人 ：
厦门市跃邦自动化设备有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市翔安区马巷镇舫阳坪边上里86-1号
代理机构 ：
厦门佰业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
任晶
优先权 ：
CN201922108966.8
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C26/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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