用于溅射铝－钕合金的组合件
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
为了减小由结合或膜沉积造成的翘曲并且能够长时间稳定进行膜沉积，提供一种用于溅射Al－Nd合金的组合件，该组合件包括：含有Nd含量0.1到3原子％的铝合金的Al－Nd合金溅射靶，和硬钎焊在Al－Nd合金溅射靶上的背衬板，其中Al－Nd合金溅射靶在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为A，背衬板在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为B，并且A和B满足如下条件(1)：－0.15≤(B－A)/A＜0.15 (1)。
基本信息
专利标题 ：
用于溅射铝－钕合金的组合件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1763240A
申请号 ：
CN200510114033.X
公开（公告）日 ：
2006-04-26
申请日 ：
2005-10-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
茂山和基
申请人 ：
株式会社钢臂功科研
申请人地址 ：
日本国兵库县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
陈平
优先权 ：
CN200510114033.X
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/14 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2009-08-12 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-06-14 ：
实质审查的生效
2006-04-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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