一种真空系统用挡板阀
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空系统用的挡板阀，包括高真空获得装置、用于与腔体密封连接和安装高真空获得装置的固定板、用于隔离高真空获得装置和真空室的密封板、与密封板联动的驱动机构；所述固定板上设置有驱动机构安装法兰和高真空获得装置抽气口。本实用新型的实用性、使用性能以及抽真空效果好，适用范围广；实现快速连通或隔离高真空获得装置与真空室，便于连续生产。
基本信息
专利标题 ：
一种真空系统用挡板阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922155469.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-03
授权号 ：
CN211227332U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
郭爱云朱选敏
申请人 ：
武汉科瑞达真空科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新大道666号武汉国家生物产业基地项目B、C、D区研发楼B1栋
代理机构 ：
武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
谢洋
优先权 ：
CN201922155469.3
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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