一种带烘干功能的晶圆存放盒
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摘要
本实用新型公开了一种带烘干功能的晶圆存放盒，包括加热机构和海绵层，所述加热机构的底端中部卡合机构，且卡合机构的底端衔接有盒体，所述盒体右侧外壁设置有硅胶凸起，且盒体的内壁底端粘接有吸水树脂层，所述盒体的底端外壁安置有支撑机构，且盒体的内壁顶端中部设置有竖向限位槽，所述竖向限位槽的右侧外壁粘接有防滑垫。该带烘干功能的晶圆存放盒通过底座和支撑柱的设置，可以对盒体进行支撑，在盒体内部进行烘干的同时，其盒体底端开设有出水管，经过出水管使得晶圆本体上多余的水雾得以滑落至储水箱内，并通过螺纹盖打开储水箱可以将积水进行排除，防止了晶圆本体叠放时背面的水雾会粘湿相邻晶圆本体的正面，保证了晶圆本体的表面干燥。
基本信息
专利标题 ：
一种带烘干功能的晶圆存放盒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922186289.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-09
授权号 ：
CN211108688U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
胡建军
申请人 ：
苏州英尔捷半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房
代理机构 ：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐永雷
优先权 ：
CN201922186289.1
主分类号 ：
B65D25/02
IPC分类号 ：
B65D25/02 B65D25/52 B65D81/22 B65D85/86 B65D25/20 B65D81/05
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D25/00
其他种类或形式的刚性或半刚性容器的零部件
B65D25/02
内部配件
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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